ES372は、ファインプロセスで設計されたLSIのための 故障解析用ドライエッチング装置です。多層配線にも十分対応できる大きなアスペクト比、エッチング条件のメモリ機能等、専用機ならではの機能と使い易さを有しています。 ・ 多層配線にも対応できる異方性エッチングが可能 ・ エッチング条件メモリ機能と2ステッププログラム機能 ・ 簡便な操作性 ・ ペルチェ素子を使用したステージ温度調節 ・ プロセスガス配管にはVCR継ぎ手を採用 ・ ドライポンプ対応も可能