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開封装置のトップメーカーとして、レーザー開封装置（PL101）、強酸による薬液開封装置（PS102W/PS102S）、活性イオンによるドライ開封装置（ES312）、そして、開封処理を迅速、精密に行うため切削前処理するIC
開封前処理マイクロルーター（PE101）と充実した製品系列がそろっています。 |
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DPシリーズは、プラスチックモールドオープナーPSタイプ専用に設計された塩ビ製ドラフトチャンバーで、上置きタイプ、横置きタイプのスクラバー装置付きも用意されています。 |
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パッシベーション膜や層間膜を除去する故障解析専用のドライエッチング装置です。IC用（ES301）、ファインプロセスLSI用（ES372）、ウエハ用（ES401）とサンプル形状や目的に応じたラインナップがあります。 |
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高機能ICを裏面から観察するためにサンプルを切削、研削、研磨する装置です。 |
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パーソナルタイプのカーブトレーサー2nd（FB200）、IDDQテスティング装置（FB101-1）、高速オートマチックテスティングシステム（FB102-0）等があります。また、高精度液晶用温度コントローラーとの組み合わせで、故障部位の特定も可能です。 |
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