日本サイエンティフィック株式会社　ED-Lab

パッシベーション膜・アルミ配線除去・層間膜除去

各層間のアルミ配線と層間膜をRIEエッチングと薬液により除去します。

・ボンディングワイヤー(金)がある場合、薬液によりワイヤーを除去した後、剥離作業を行います。
・サンプルはエレクトロンシートで保護した上、梱包しご返送いたします。
・アルミ配線露出状態でのご返送も可能ですが、腐食・リフティングを考慮しパシベーション段階での終了をお勧めします。